低调崛起的韩国半导体设备
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【摘要】据SEMI去年数据显示，预计韩国今年将在半导体晶圆厂设备上投资300亿美元（35.106万亿韩元），成为世界上最大的逐国投资。? 不同于其他领域，材料装备行业技术密集度更高、融合性强
据SEMI去年数据显示，预计韩国今年将在半导体晶圆厂设备上投资300亿美元（35.106万亿韩元），成为世界上最大的逐国投资。?
不同于其他领域，材料装备行业技术密集度更高、融合性强，目前设备大国像美国、日本都已经过了所谓的“成套”产业（组装电视机和洗衣机等）的初级阶段，中国、越南、韩国等由于发展较晚，除非充分培养出具备物理、化学、化学工程、材料、电子等多种知识、经验丰富的专业劳动力，否则很难发展。
与此同时，SK海力士也保持着保守的投资立场，2018年在半导体设施上投资17.38万亿韩元，2019年减少至12.747万亿韩元，2020年减少至9.89万亿韩元，2021年增加至13.4万亿韩元。据 Kiwoom Securities 称，SK 海力士今年的设施投资预计将比上年增加 47%，达到 17 万亿韩元。
而就在近日，韩国政府又表示，在未来五年内将向芯片行业投资 340 万亿韩元（2590 亿美元）铺平道路，并在该领域培养超过 150,000 名技术工人，计划到2030年实现芯片产业50%的关键材料、零部件和设备国产化。
据韩国经济新闻网报道，SK集团决定在半导体、电动汽车电池、绿色能源、生物技术等4大领域向美国投资290亿美元。其中，150亿美元将用于半导体领域，SK集团的半导体子公司SK海力士计划在美国建设存储器半导体尖端封装制造设备和研发(R&D)中心。
PSK是一家半导体设备公司，主要生产用于半导体蚀刻工艺的光刻胶去除设备(PRStrip)和氧化膜去除设备(干洗)。在半导体设备类别中，PSK主要适用的产品是Wafer Fabrication Equipment:Dry Strip、Dry Cleaning、New Hard Mask Strip、Wafer edge clean、Etch Back、Power Device Etch。在半导体制造工艺等离子dry strip (光刻胶剥离系统领域) 中始终保持世界第一的市场占有率。
要说刺激韩国发力半导体设备的“导火索”，当属2019年的“日韩半导体之争”，被设备强国日本扼住半导体发展的咽喉，使得韩国意识到了设备国产化的重要性。据韩媒joongang 2018年报道，韩国半导体设备产业的国产化率仅为18.2%，与上述数据进行对比，不难发现，韩国半导体设备产业在经过2019年日韩半导体之争，终于开始有了新进展。
韩国半导体前道设备供应商名单 图源：半导体综研
Wonik IPS成立于1991年，主要提供等离子化学气相沉积（PECVD）设备。2020年10月，Wonik IPS 首次量产了新型金属 CVD 设备“NOA”，并向 SK 海力士青州 M15 供应，Wonik IPS 的此次量产实现了韩国装备行业以往从未商业化的金属 CVD 设备的韩国国产化。2021年9月，Wonik IPS用于QD显示的干式蚀刻设备获得了三星显示认可。
从半导体设备工艺发展来说，目前在前道设备方面，韩国设备厂商的技术处于生产核心的蚀刻、清洗和沉积工艺的60-80%水平，用于沉积工艺的热处理设备在全球市场上具有竞争力，但曝光设备、离子注入设备和测量分析设备技术基础薄弱。而在后道设备领域，韩国设备厂商总体处于竞争水平。韩国产业技术评价与企划院表示，这是因为由于技术差距和投资成本负担，韩国公司已将注意力集中在进入门槛相对较低的工艺上。
更重要的是，存储半导体产业本身就是一个高度依赖设备的领域，存储器半导体厂70%的投资都用于设备，然而像三星电子、SK海力士等韩国半导体制造商生产线上安装的设备60%以上依赖进口。这就意味着，如果您花费 30 万亿韩元建造工厂，那么您将花费 21 万亿韩元购买设备，其中近13万亿韩元是由外国公司赚取的。对于设备厂商来说，存储强国韩国自然就成为了需要维护合作关系的大国。
上述两点，其实在四大设备厂商的选址中也可以得到很好的体现。
除了本地设备厂商崛起，近些年AMAT、ASML、Lam Research，以及东京电子等全球半导体设备厂商也在加速入住韩国，韩媒分析原因，主要有以下两大方面：
去年下旬，PSK 完成了“Bevel Etcher（斜面蚀刻设备）”的开发。从2020年开始，PSK为美国半导体公司的系统半导体工艺供应带材设备。CEO Lee 表示：“在半导体领域，我们计划将我们的业务从存储器扩展到系统半导体，并将我们的设备产品组合从剥离设备扩展到清洁和蚀刻设备。
此外，EO Technics成立于1989年，主要从事开发和生产用于半导体、显示器和PCB制造工程的激光和设备；Intek Plus 是一家半导体后端工艺视觉检测设备制造商，2020年赢得了京瓷和伊比登等日本新客户的设备订单，今年大田新工厂投产时，设备产能有望翻番；Genesem 是一家后处理设备制造商，2016年开发了EMI屏蔽设备，据了解新设备16并行非内存测试处理器也在去年第二季度供应给韩国OSAT公司。?
文章来源：《材料科学与工程学报》 网址: http://www.clkxygcxb.cn/zonghexinwen/2022/0802/790.html